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掃描電子顯微鏡在當(dāng)今社會(huì)有多重要

 更新時(shí)間:2017-10-28 點(diǎn)擊量:2752
   1959年*臺(tái)100KV電子顯微鏡1975年*臺(tái)掃描電子顯微鏡DX3在中國科學(xué)院科學(xué)儀器廠(現(xiàn)北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司)研發(fā)成功。掃描電子顯微鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描,激發(fā)出各種物理信息。通過對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像,獲得測(cè)試試樣表面形貌的觀察。
  掃描電子顯微鏡根據(jù)不同信息產(chǎn)生的機(jī)理,采用不同的信息檢測(cè)器,使選擇檢測(cè)得以實(shí)現(xiàn)。如對(duì)二次電子、背散射電子的采集,可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息;對(duì)x射線的采集,可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。正因如此,根據(jù)不同需求,可制造出功能配置不同的掃描電子顯微鏡。掃描電子顯微鏡對(duì)于固體材料的研究應(yīng)用非常廣泛,沒有任何一種儀器能夠和其相提并論。對(duì)于固體材料的全面特征的描述,掃描電子顯微鏡是至關(guān)重要的。
  隨著電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展,不僅實(shí)現(xiàn)了數(shù)字化圖像,而且電鏡所有的功能都已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了數(shù)字化控制?,F(xiàn)代掃描電鏡電器控制系統(tǒng)高度集成化,掃描電鏡結(jié)構(gòu)越來越緊湊,自動(dòng)化功能越來越高,極大改善了人機(jī)操作環(huán)境。目前掃描電子顯微鏡的zui主要組合分析功能有:X射線顯微分析系統(tǒng)(即能譜儀,EDS),主要用于元素的定性和定量分析,并可分析樣品微區(qū)的化學(xué)成分等信息;電子背散射系統(tǒng)(即結(jié)晶學(xué)分析系統(tǒng)),主要用于晶體和礦物的研究。

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